| 參數(shù) | 玻璃晶圓片規(guī)格 |
| 材料 | 玻璃、石英等 |
| 外徑 | 4”、6”、8”、12”等 |
| 外徑公差 | +/-0.01mm |
| 最小厚度 | 0.2mm(<6”)、0.3mm(8”)、0.35mm(12”) |
| TTV | <1μm |
| BOW | <20μm |
| WARP | <30μm |
| 外觀 | 20-10 |
| 粗糙度 | Ra<0.2nm |
| 倒邊 | 45°，C0.2+/-0.1mm |
| 鍍膜 | 增透膜、反射膜、分光膜等 |
* 備注：可以根據(jù)客戶需求定制 | |
| 參數(shù) | 玻璃晶圓片規(guī)格 |
| 材料 | 玻璃、石英等 |
| 外徑 | 4”、6”、8”、12”等 |
| 外徑公差 | +/-0.01mm |
| 最小厚度 | 0.2mm(<6”)、0.3mm(8”)、0.35mm(12”) |
| TTV | <1μm |
| BOW | <20μm |
| WARP | <30μm |
| 外觀 | 20-10 |
| 粗糙度 | Ra<0.2nm |
| 倒邊 | 45°，C0.2+/-0.1mm |
| 鍍膜 | 增透膜、反射膜、分光膜等 |
* 備注：可以根據(jù)客戶需求定制 | |